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발행연도
2005 ~ 2026
2005 2026
키워드
언어
전체 159건 중 151번부터 159번까지의 결과를 표시합니다.
2006
2005
Article
Silicon containing organic-inorganic hybrid materials as EUV photoresists
- Kwark, YJ ;
- Bravo-Vasquez, JP ;
- Cao, HB ;
- Deng, H ;
- Ober, CK
- 2005
- Journal of Photopolymer Science and Technology
- TECHNICAL ASSOC PHOTOPOLYMERS,JAPAN