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베이스 동특성을 고려한 XY 선형 모션 스테이지 시스템 반발력 보상 기구의 동특성 해석

제목
베이스 동특성을 고려한 XY 선형 모션 스테이지 시스템 반발력 보상 기구의 동특성 해석
저자
안형준
발행일
2011-05
학회명
2011 대한기계학회 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집
개최지
부산
개최국가
대한민국
학회 개최일
2011-05 ~ 2011-05

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