B와 W의 함량이 무전해 Co 합금 박막의 경도에 미치는 영향 연구

초록

본 연구에서는 Co-B, Co-W-B 합금 박막 형성을 위한 무전해 전착법을 고안하고, 이를 통해 형성한 합금 박막의 B과W의 함량이 박막의 경도에 미치는 영향을 살펴보았다. 무전해 전착을 통해 무정형 상태의 Co 합금 박막을 성공적으로형성할 수 있었으며, 환원제인 dimethylamine borane과 W의 원료인 sodium tungstate dihydrate의 농도를 조절함으로써Co 합금 박막 내 혼합되는 B과 W의 함량을 조절하였다. 이를 통해 Co 합금 박막 내 전위(dislocation)의 전파(propagation)를 억제하는 B과 W의 함량이 증가할수록 박막의 경도가 증가함을 확인할 수 있었다. 뿐만 아니라, 무전해 전착 시 포기(aeration)를 수행하지 않을 경우에 포기를 수행한 경우보다 Co 합금 박막 내 B과 W의 함량을 대폭증가시킬 수 있었고 최종적으로 Co-W-B 합금 박막의 경도를 8.9 (±0.3) GPa까지 향상시켰다.

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