선형모터 스테이지를 위한 스위칭을 이용한 반능동 반발력 보상 모의실험

제목
선형모터 스테이지를 위한 스위칭을 이용한 반능동 반발력 보상 모의실험
저자
안형준
발행일
2015-12
학회명
한국정밀공학회 2015년도 추계학술대회
개최국가
대한민국