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적층 초음파센서용 압전 환판 변환기의 면내/면외 진동
In-plane and Out-of-plane Vibration of Piezoelectric Ring Transducers for Stacked Ultrasonic Sensors
- 김령연;
- 박주아;
- 김진오
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2초록
본 논문은 적층형 초음파센서의 핵심 요소인 압전 환판 변환기의 면내 진동과 면외 진동을 다룬다. 환판형 압전 변환기의 기본모드는 반경모드이고 반경방향 운동인 면내 진동이 두께방향 운동인 면외 진동과 연계된다. 앞서 보고한 면내 진동의 이론에 근거하여 면외 진동을 이론적으로 해석하고, 이를 유한요소 해석으로 입증하였다. 고유진동수를 실험으로 측정하여 해석 결과들을 비교 검증하였다. 압전 환판 변환기의 기본모드에서 두께방향 면외 진동이 거의 균일한 분포인 이론 식을 정립하였다.
키워드
Piezoelectric; Transducer; Ring; Vibration; Ultrasound; 압전; 변환기; 환판; 진동; 초음파
- 제목
- 적층 초음파센서용 압전 환판 변환기의 면내/면외 진동
- 제목 (타언어)
- In-plane and Out-of-plane Vibration of Piezoelectric Ring Transducers for Stacked Ultrasonic Sensors
- 저자
- 김령연; 박주아; 김진오
- 발행일
- 2021-11
- 유형
- Article
- 저널명
- 대한기계학회논문집 A
- 권
- 45
- 호
- 11
- 페이지
- 977 ~ 985