추가 코일 개폐를 이용한 선형 모션 스테이지용 반능동 반발력 보상

제목
추가 코일 개폐를 이용한 선형 모션 스테이지용 반능동 반발력 보상
저자
안형준
발행일
2016-04
학회명
대한기계학회 동역학 및 제어부문 2016년도 춘계학술대회
개최국가
대한민국